高精度二维小角度测量系统


    产品描述:
     一种高精度纳米级尺寸与超高精度小精度测量系统
    快速精确地对完成纳米级测量
    作为小角度标定基准
    大范围小角度测量
    精度可达0.05"


        高精度二维小角度测量系统,以双频激光干涉仪为测量基础,快速精确的完成纳米级测量,作为小角度标定基准
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  分辨率   0.0006"
  测量范围   ±5°
  光学平行度   <15''
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现场调试: