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多轴干涉仪
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高精度二维小角度测量系统
产品描述:
一种高精度纳米级尺寸与超高精度小精度测量系统
快速精确地对完成纳米级测量
作为小角度标定基准
大范围小角度测量
精度可达0.05"
产品介绍
参数指标
应用案例
资料下载
高精度二维小角度测量系统,以双频激光干涉仪为测量基础,快速精确的完成纳米级测量,
作为小角度标定基准
。
详情请电话。咨询
分辨率
0.0006"
测量范围
±5°
光学平行度
<15''
注:详情请电话咨询
现场调试:
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