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五轴干涉仪


 任意两轴平行度可达角秒级
 测量精度极高
 五轴同时测量

产品介绍 参数指标 应用案例 资料下载
 五轴干涉仪全称五轴平面镜干涉仪，包括一个四轴干涉仪和一个差分干涉仪。
任意两轴平行度   <10"
光学非线性    <1nm
轴数  5 
尺寸可定制
注：该参数指标不是固定的，根据客户需求或实际情况有所变动

 


四轴干涉仪

差分干涉仪