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三轴平面镜干涉仪（接收器一体）


     产品描述：
     三轴线性测量光学镜组
     可同时测量长度，俯仰，偏摆
     长度分辨率可达0.3nm
     角度分辨率可达0.002"
     适用于测量物体的位移、偏摆和俯仰
     设计小巧，易于安装

产品介绍 参数指标 应用案例 资料下载
        三轴平面镜干涉仪，又称三轴线性测量干涉仪（接收器一体），属于多轴多自由度激光干涉系统中的光学组件，接收器和光学镜组一体包含在金属壳内，不再额外配置接收器，使用方便。一个镜组，便可以完成对长度、俯仰角及偏摆角三个参数的高精度测量。
        详情请电话咨询。
  长度分辨率   0.3nm
  角度分辨率   0.002"
  角度测量范围   ±5°
  注：客户可按需求定制