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三轴平面镜干涉仪

 
     产品描述：
    测量精度极高
    任意两轴平行度可达角秒级
    轻松对光，使用方便
    安装简单

 

产品介绍 参数指标 应用案例 资料下载
          三轴干涉仪，全称三轴平面镜干涉仪，能对俯仰、滚动角、偏摆角、长度等任意三个参数之间进行组合测量，一个三轴干涉仪便可以完成测量。任意两轴的出射光平行度在10"以内，光轴距离精度<0.1mm,温度稳定性在40nm/℃，测量角范围：角度范围：俯仰和滚动角±1mrad@300㎜， 偏摆角±1.5mrad@300㎜。
  任意两轴平行度   <10"
  光轴距离精度   <0.1mm
  光学非线性   ±2nm
  温度稳定性   40nm/℃
  角度范围   俯仰或滚动角±1mrad@300mm，或偏摆角±1.5mrad@300mm
  光学效率   平均18%
  固有频率   <1000hz
  尺寸可定制
  注：该参数指标不是固定的，根据客户需求或实际情况有所变动

产品展示


                                        多轴平面镜干涉仪（1）


                                       多轴平面镜干涉仪（2）