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激光干涉仪定位的大尺寸三维运动台



      产品描述：
     激光干涉仪定位的大尺寸三维运动台
     三轴高精度定位
     定位精度可达亚微米级

产品介绍 参数指标 应用案例 资料下载
       激光干涉仪定位的大尺寸三维运动台，部件加工精度要求极高，运行环境也有极为苛刻的条件。
  行程   X轴：100mm，
  Y轴：2000mm，
  Z1轴：1m和Z2轴：40mm。
  位移分辨率   X、Y、Z1、Z2四轴：≤10nm。
  双向定位精度   X轴：±0.15um/100m；
  Y轴：±0.1um/3.5mm；
  Z1和Z2轴：±0.15um/40mm
  重复定位精度
  X轴：±0.1μm/100mm；
  Y轴：±0.15μm/1000mm；
  Z1轴和Z2轴：±0.1μm/40m。
  注：详情请电话咨询。